狭い耐容容量 マッチされたMOSコンデンサ 220pF 100V CTE GaN SiC パワーモジュール向け最適化単層チップ

HACC221S100V502 高精度MOSキャパシタ — 220 pF 100 V、サブ1%キャパシタンスマッチングおよびGaN & SiCパワー基板向けCTE最適化

HACC221S100V502は、220 pF ±10%の単層MOS（金属酸化膜半導体）キャパシタで、定格電圧は100 V DCです。フロートゾーンシリコン（>1000 Ω·cm）上に300 nmクラスの熱酸化SiO₂誘電体とTiW-Au / TiW-Pt-Auメタライゼーションで製造されています。標準的なチップ外形寸法は0.55 mm × 0.55 mm × 0.18 mm (±25 µm)です。ペア間のキャパシタンス対称性とパワーサイクリング下での熱機械的信頼性が回路性能を決定する、広帯域ギャップパワーモジュール向けに設計されています。

シリコンMOS構造は単結晶シリコン基板上に直接形成されるため、その熱膨張係数（CTE、2.6 ppm/°C）は、炭化ケイ素およびSiC上のGaNパワーデバイスのCTEに本質的に近くなります。これは、パワー基板上にコパッケージングされる場合にアルミナベースのセラミックキャパシタに対する利点です。

ウェーハ全体でサブ1%の高精度キャパシタンスマッチング

• ウェーハレベル選別サービス:キャパシタは100%電気的にプローブされ、選別されるため、一緒に発送されるマッチングセットは、ウェーハ位置、ウェーハ間、ロット間で<1%のキャパシタンスばらつき内に収まります。
• マッチングペアおよびアレイは、デジタルウェーハマップドキュメントおよびウェーハロットごとの完全なロットトレーサビリティとともに発送されます。
• 超安定な熱酸化SiO₂誘電体は、-55°Cから+200°Cの全範囲およびDCバイアス下（TCC +35 ppm/°C）でマッチングドリフトを小さく保ちます。
• キャパシタンス対称性がスイッチングバランスとEMIを制御する、バランス型ハーフブリッジゲートドライブ、スナバ、および分圧回路に最適です。

電気的特性（代表値、特に記載がない限り25°C）

GaNおよびSiCパワーモジュールにおけるゲートドライブおよびスナバデカップリング; ハイブリッドパワーモジュールおよびトラクションインバータ; オンボードチャージャーおよび高密度DC-DCコンバータ; RFパワーアンプバイアスネットワーク; およびCTEマッチング、キャパシタンスマッチング、低インダクタンスが必要なコパッケージングパワーアセンブリ