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कस्टम एमओएस कैपेसिटर पिनहोल फ्री ग्लासिवेशन पैसिवेशन वेफर लेवल एस पैरामीटर स्थिरता ठीक क्षमता चरण

HACC-CUSTOM-GS: पिनहोल मुक्त ग्लासिवेशन एमओएस कंडेसिटर के साथ वेफर-स्तर एस-पैरामीटर स्थिरता और ठीक क्षमता चरण

उन्नत पिनहोल-मुक्त ग्लासिवेशन और पैसिवेशन

कठोर वातावरण में एमओएस कैपेसिटर की विश्वसनीयता विशेष रूप से उच्च आर्द्रता, उच्च तापमान संचालन स्थितियों में निष्क्रियता और ग्लासिफिकेशन परतों की गुणवत्ता पर हावी है।एक एकल पिनहोल दोष एक नमी प्रवेश पथ बना सकते हैंHACC-CUSTOM-GS एक दो-परत PECVD निष्क्रियता ढेर के माध्यम से इस विफलता मोड को समाप्त करता हैः

• आधार परत:2000Å पीईसीवीडी सियो 2 ∙ उत्कृष्ट चरण कवरेज, कम तनाव, सिलिकॉन सतह राज्यों के हाइड्रोजन निष्क्रियता
• शीर्ष परत:30008000Å पीईसीवीडी Si3N4 उत्कृष्ट आर्द्रता बाधा (WVTR <0.01 g/m2/day), खरोंच सुरक्षा, सोडियम आयन बाधा

पिनहोल घनत्व 0.01 / सेमी 2 से नीचे 100% वेफर स्तर तरल क्रिस्टल हॉट स्पॉट का पता लगाने के माध्यम से सत्यापित किया जाता है, जो मरने से पहले दोष मुक्त निष्क्रियता कवरेज की दृश्य पुष्टि प्रदान करता है।SiN नमी बाधा > 1000 घंटे HAST (उच्च गति से तनाव परीक्षण) 130 °C / 85% आरएच पर 10% से कम बनाए रखा रिसाव वर्तमान बदलाव के साथ मान्य है, जो उष्णकटिबंधीय, समुद्री और अनसील ऑपरेटिंग वातावरण में फील्ड विश्वसनीयता सुनिश्चित करता है।

वेफर-स्तरीय S-पैरामीटर स्थिरता नियंत्रण

उत्पादन स्थिरता एक सफल प्रोटोटाइप और एक विनिर्माण योग्य उत्पाद के बीच का अंतर है।HACC-CUSTOM-GS इस अंतर को 100% डाई-लेवल वेफर जांच के साथ पाटता है जो सीधे 100 मेगाहर्ट्ज से 20 गीगाहर्ट्ज तक एस-पैरामीटर को मापता है, न कि केवल सीसी क्षमता। वेफर स्तर की एकरूपता मान्य की जाती हैः S11 परिमाण <±0.1 डीबी मरने के लिए मरने के लिए और S21 चरण <±2 डिग्री 10 गीगाहर्ट्ज पर। प्रक्रिया क्षमता को 1 से अधिक CpK के माध्यम से quantified किया जाता है।क्षमता के लिए 67, ईएसआर, और स्व-प्रतिध्वनित आवृत्ति (एसआरएफ), जिसमें एसपीसी नियंत्रण चार्ट प्रति बैच और पैरामीटर वितरण को दस्तावेज करने वाला एक वेफर मानचित्र रखा गया है।प्रत्येक शिप किए गए बैच में यह वेफर मैप शामिल है, जो कैपेसिटर को एक कमोडिटी घटक से एक विशेषता में बदल देता है।, अनुगमन योग्य आरएफ बिल्डिंग ब्लॉक।

ठीक क्षमता चरण और सटीक ट्यूनिंग

निष्क्रियता और स्थिरता के लाभों का पूरक, एचएसीसी-कस्टम-जीएस एक ही सटीक मूल्य मंच बनाए रखता हैः 1 पीएफ न्यूनतम क्षमता चरण, 0.1 पीएफ लेजर ट्रिम रिज़ॉल्यूशन,ट्रिमिंग के दौरान बंद लूप इन-सुइट सी माप प्रतिक्रिया, और एस-पैरामीटर सत्यापन ट्रिम के बाद ️ यह सुनिश्चित करने के लिए कि वितरित क्षमता मूल्य अपने वास्तविक आरएफ ऑपरेटिंग वातावरण में सत्यापित किया जाता है।

प्रमुख विनिर्देश

आवेदन

• कठोर वातावरण आरएफ फ्रंट-एंड्स दोहरी परत ग्लासिवेशन, >1000h HAST, उष्णकटिबंधीय/समुद्री अनसेल्ड ऑपरेशन के लिए पिनहोल मुक्त
• चरणबद्ध सरणी टी/आर मॉड्यूल पूर्वाग्रह नेटवर्क ️ मरने के लिए मरने S21 चरण <±2°, 100% S-पैरामीटर किरण बनाने के चरण की सटीकता के लिए मरने के लिए परीक्षण किया
• प्रेसिजन इंस्ट्रूमेंटेशन फ्रंट-एंड्स 25 डिग्री सेल्सियस पर <1 एनए रिसाव, सीपीके >1.67 सी/ईएसआर/एसआरएफ के लिए, शिप किए गए लोट के अनुसार वेफर मैप की ट्रेसेबिलिटी
• उच्च-मात्रा वाला वायरलेस बुनियादी ढांचा ∙ 0.1 पीएफ लेजर-ट्रिम रिज़ॉल्यूशन, इन-सइट एस-पैरामीटर सत्यापन, लगातार उत्पादन निर्माण के लिए प्रति लॉट एसपीसी-नियंत्रित

अपने निष्क्रियता, क्षमता, और स्थिरता आवश्यकताओं के साथ हमसे संपर्क करें। 5 ¢ 7 व्यावसायिक दिनों में वेफर-स्तर एस-पैरामीटर डेटा जहाज के साथ पिनहोल-मुक्त ग्लासिवेशन एमओएस कैपेसिटर।